近几年大规模集成电路的生产有了快速发展,国家对超纯水的水质也相应提出了更高的要求,超纯水中所含杂质的允许含量越来越低,同时需要控制的杂质种类也越来越多。为了更好有效的去除各种杂质,需要各种处理手段的综合运用。
电子厂专用纯净水设备分为三部分:预处理,初级处理和抛光精制处理。
1.预处理系统通常由过滤、杀菌和防氧化工艺组成;
2.初步处理系统主要由反渗透、离子交换器、膜脱气、紫外设备等组成;
3.精制处理部分通常包括TOCUv、抛光混床、膜脱气以及终端超滤装置。
电子厂专用纯净水设备的工艺优势:
1.具有一定的灵活性和调节余地,以适应水量的变化,管理方便、维修简单,合理地、充分地考虑操作自动化,减少操作劳动强度;
2.设备选型兼顾通用性和先进性,运行稳定可靠、效率高、管理方便、维修维护工作量少、价格适中;设计美观、布局合理,与周围设施统一协调考虑;
3.尽量采取措施减小对周围环境的影响,合理控制噪声、气味,妥善处理与处置固体废弃物,避免二次污染;
4.在系统整体设计中引入模块化概念,将主体处理设施分成几个并列运行的处理单元,可根据生产的实际情况以及实际水量的大小灵活运行,节省运行费用;
5.设备结构紧凑,占地面积小,便于安装和维修,节约用地。
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